| GFC/GFM 系列气体质量流量控制器/流量计的原理为一个直管传感器与一个限流控制器相结合的方法来提供高精度和良好的重复性。流速在实质上不受温度和压力变化的影响。实际气流工况将以工程单位显示在3位数字,90°旋转的LCD上。产品可配合GFT流量总计器使用于要求流量总计功能的应用。GFC/GFM系列产品可包括一个NIST跟踪合格证。
控制器利用一个电磁阀和PID电子学可保持连续控制,通过比较测量感应信号来设置流速。设置点能够以现场电位计或通过远程的0到5VDC或4到20mA类似信号来进行调节。该元件能和GFT流量总计器一起用于要求流量总计的地方。
物理指标
介质:与接液部件相容的洁净气体
精度:±1.5%FS℉℃包括线性以上59~77℉(5~25℃)和5~60psia(0.35~4bar)
重复性:满量程的±0.5%
工作温度:32~122℉(0~55℃)
最大气体压力:500psig(34.5bar)
反应时间:实际流量的±2%以内,为2秒
电源:±12VDC
输出:线性0-5VDC和4-20mA
温度系数:0.15%FS/℃
压力系数:0.01%FS/psi(0.07bar)
泄漏率:氦气的1×10E-7 sccs。
最大微粒尺寸:5微米
显示:90°可倾斜,3-1/2数字
计算机界面
过程连接件:1/4" 对流速来讲压缩装置≤50L/m;对于100和200L/m为3/8";对500L/m为1/2";对1000L/m为3/4"。
接液部件:阳极氧化铝,316不锈钢,黄铜,和Viton O型密封圈
附件
GFC系列气体质量流量控制器
型号GFC-110P,电源110V
型号GFC-220PE,电源220V
型号 GFC-CBL1, 8英尺长电缆带有15针连接器
型号GFC-CBL3,3英尺延长电缆用于LCD读数
GFM系列气体质量流量计
型号GFM-110P,电源110V
型号GFM-220PE,电源220V
型号GFM-CBL4, 3英尺长电缆用于4-20mA输出
型号GFM-CBL5,3英尺延长电缆用于用于0-5VDC输出
型号IO-1,0-5VDC的RS232输入到输出信号调节装置
| GFC/GFM系列 气体质量流量控制器/计 |
| 流量范围 |
流量控制器 |
流量计 |
| 铝 |
不锈钢 |
铝 |
不锈钢 |
| 0-10 SCCM |
GFC-1101 |
GFC-2101 |
GFM-1101 |
GFM-2101 |
| 0-20 SCCM |
GFC-1102 |
GFC-2102 |
GFM-1102 |
GFM-2102 |
| 0-50 SCCM |
GFC-1103 |
GFC-2103 |
GFM-1103 |
GFM-2103 |
| 0-100 SCCM |
GFC-1104 |
GFC-2104 |
GFM-1104 |
GFM-2104 |
| 0-200 SCCM |
GFC-1105 |
GFC-2105 |
GFM-1105 |
GFM-2105 |
| 0-500 SCCM |
GFC-1106 |
GFC-2106 |
GFM-1106 |
GFM-2106 |
| 0-1 L/min |
GFC-1107 |
GFC-2107 |
GFM-1107 |
GFM-2107 |
| 0-2 L/min |
GFC-1108 |
GFC-2108 |
GFM-1108 |
GFM-2108 |
| 0-5 L/min |
GFC-1109 |
GFC-2109 |
GFM-1109 |
GFM-2109 |
| 0-15 L/min |
GFC-1111 |
GFC-2111 |
GFM-1111 |
GFM-2111 |
| 0-30 L/min |
GFC-1131 |
GFC-2131 |
GFM-1131 |
GFM-2131 |
| 0-50 L/min |
GFC-1133 |
GFC-2133 |
GFM-1133 |
GFM-2133 |
| 0-100 L/min |
GFC-1142 |
GFC-2142 |
GFM-1142 |
GFM-2142 |
| 0-200 L/min |
GFC-1143 |
GFC-2143 |
GFM-1143 |
GFM-2143 |
| 0-500 L/min |
GFC-1144 |
GFC-2144 |
GFM-1144 |
GFM-2144 |
| 0-1000 L/min |
GFC-1145 |
GFC-2145 |
GFM-1145 |
GFM-2145 |
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